??超硬質(zhì)碳化鎢涂層通常是指由III、IV和V主族元素組成的共價(jià)鍵化合物（碳化物、氮化物〉和單質(zhì)（金剛石）組成，有單晶、多晶和非晶等多種，如金剛石，立方氮化硼（C-BN〉，氮化碳（C3N4和CNX)，硼氮碳（BCN）及類金剛石（DLC)等。其硬度很高，接近天然金剛石硬度。通常，超硬涂層的硬度為800GPA以上；但也有學(xué)者把400GPA以上的共價(jià)鍵化合物涂層視為超硬涂層。類金剛石涂層的硬度變化范圍很大，與結(jié)構(gòu)中SP3鍵含量有關(guān)。
??通常把不含氫的四方非晶碳TA-C也稱非晶金剛石涂層，視為超硬涂層，而其他的類金剛石涂層視為一般硬質(zhì)涂層。除金剛石外，其他材料都是人工合成的，沒有天然對(duì)應(yīng)物。另外，近年來(lái)廣泛研究的納米多層結(jié)構(gòu)涂層和納米晶復(fù)合涂層的硬度也在超硬涂層的硬度范圍內(nèi)，并具有綜合的優(yōu)異性能，因而備受人們的青睞。超硬碳化鎢涂層材料可分為一元系(單質(zhì)〉化合物、二元系化合物、三元系化合物及可能更多元系的化合物。超硬涂層材料的主要特點(diǎn)是：①化學(xué)鍵以共價(jià)鍵為主，離子鍵成分少；②由元素周期表中第2、3周期的III、IV族的氮乂碳化物及單質(zhì)組成，組成元素的原子半徑很小。